透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么?

作者: Jason

来源: 知乎

发布日期: 2017-07-09 10:40:47

本文详细介绍了透射电子显微镜(TEM)的成像原理及其在原子级别成像中的应用,包括球差、质厚衬度和相位衬度等关键概念。

透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么?成像的本质是衬度,衬度的本质是黑白。所谓TEM,就是一个放大镜叠加了一台照相机。这台放大镜的放大倍数比较高,可高达一百万倍。当然,抛开分辨率谈放大倍数都是耍流氓,那么,TEM的分辨率有多高呢?答案是 it depends。一般来说,TEM的分辨率要在1到2个纳米,STEM更高,但是STEM得成像技术类似于SEM,但用的不是二次电子。

世界上第一台TEM构建于1931年,这可能是量子力学成立以来的首个对量子力学原理的直接人工利用。德布罗意1924年提出的波粒二象性,1929年获得了诺奖,而仅仅不到十年,把电子作为波来看待的观念就已经应用了起来。运动的电子波长极短,在10-10m这个数量级,所以用电子波作为光源所能达到的分辨率,理论上说,形成原子的像是妥妥的。

然而实际上,形成原子的像是极其困难的,究其原因,是因为TEM里面的物镜太难以达到完美。

不完美透镜导致的直接结果就是引入了让显微学者最头疼的球差。电子的聚焦是靠洛伦兹力来实现的,在洛伦兹力的作用下,电子以旋进的方式聚焦。在TEM里有一条光轴,就和光学显微镜中的光轴一样,偏离光轴时,透镜对光的聚焦能力和靠近光轴的聚焦能力是不同的。

简单的说就是磁透镜在聚焦偏离光轴的电子时聚焦的太厉害了,导致偏离光轴的电子束提前在光轴上完成聚焦,也就是说实际聚焦点在光轴上面连成了一条线,当这些聚焦的电子束在散开去像平面成像的时候,本来应该是一个很小的斑,此时变成了一个很大的斑。

大多数情况下,我们所用TEM的称度就是质厚称度。直观上,质量大的东西,厚度厚的地方,阻碍电子的能力就比较强,从而形成称度。

基于此,向原子方面想,原子序数大的,由于核外电子比较多,所以对入射电子的散射也会比较强,这个就是所谓的Z称度,STEM基于此就可以实现了单原子的成像,这个是真正的原子像,更本质的说,应该是原子的统计学成像,因为我们知道,真正的原子是不停的振动着的,STEM无法分辨晶格振动,所以成像所看到的是原子位置的期望值。

我们一般用的TEM mode就是明暗场像,由于球差的作用很强,而且如果要形成真正意义上的原子像的话,色差,像散以至于慧差,在5个埃左右会严重减弱分辨率,所以通常的TEM是无法形成原子像的。但是当放大倍数到达一定程度的时候,我们的图像会出现相位称度。

所谓相位衬度,就是电子波在经过样品的时候相位产生了调制,相位称度其实本质上是由衍射引起的,严格意义上,相位称度和衍射称度是一样的,所以在形成高分辨像的时候要避免用物镜光阑。

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