硅片可分为单晶硅片和多晶硅片。单晶硅和多晶硅的区别是,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅。如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅。多晶硅片由石英砂加工的冶金级硅精炼而来,先被铸成硅锭,然后切割成片,从而加工成多晶硅硅片。单晶硅片的生产过程包括拉晶、滚磨、切片、倒角、研磨、抛光、最终检测和出厂。
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