晶圆级立方碳化硅单晶生长取得突破

来源: Energy Environment Materials

发布日期: 2024-01-12 18:30:33

中国科学院物理研究所的陈小龙团队在晶圆级立方碳化硅单晶生长方面取得突破,通过调控固-液界面能,成功生长出单一晶型的3C-SiC单晶,具有高载流子迁移率和低电阻率,为电力电子器件的开发提供了新契机。

碳化硅(SiC)具有宽带隙、高击穿场强、高饱和电子漂移速率和高热导率等优异性能,在新能源汽车、光伏和5G通讯等领域具有重要的应用。与目前应用广泛的4H-SiC相比,立方SiC(3C-SiC)具有更高的载流子迁移率(2-4倍)、低的界面缺陷态密度(低1个数量级)和高的电子亲和势(3.7 eV)。利用3C-SiC制备场效应晶体管,可解决栅氧界面缺陷多导致的器件可靠性差等问题。

但3C-SiC基晶体管进展缓慢,主要是缺乏单晶衬底。近期,中国科学院物理研究所/北京凝聚态物理国家研究中心的陈小龙团队提出了调控固-液界面能,在异质籽晶上较同质籽晶优先形核和生长的学术思想。

该团队自主设计、搭建了超高温熔体表面张力和固-液接触角测试设备,在高温下测量了不同成份熔体的表面张力,熔体与4H-SiC、3C-SiC的接触角,获得了4H-SiC、3C-SiC与高温熔体的固-液界面能的变化规律,验证了界面能调控的可行性。

该团队利用高温液相法,实现了相同过饱和度条件下3C-SiC的Gibbs自由能更低的要求,抑制了生长过程中的相变,在国际上首次生长出直径2-4英寸、厚度4-10mm、单一晶型的3C-SiC单晶。3C-SiC单晶的室温电阻率只有0.58 mΩ·cm,为商业化4H-SiC晶片电阻率(15-28 mΩ·cm)的~1/40,有望降低器件的能量损耗。

晶圆级3C-SiC单晶的生长填补了国内外空白,使3C-SiC晶体的量产成为可能,也为开发性能优异的电力电子器件提供了新的契机。

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